Повестка семинара:

• Технологическое оборудование Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT) для создания структур микро- и наноэлектроники, докладчик – Константин Куваев (Москва),
• Технологическое оборудование Ion Beam Services (IBS) для ионной имплантации, докладчик – Константин Куваев (Москва),
• Методы анализа поверхности в применении к исследованиям микроэлектроники и наноразмерных структур, докладчик – Иван Бредихин (Москва),
• Рентгеновская дифрактометрия и рентгеновская рефлектометрия в полупроводниковой промышленности: системы для исследований и контроля от Jordan Valley, докладчик – Андрей Шуравин (Москва).

Место проведения: ОАО "НИИПП" (ул. Красноармейская, 99а. Начало в 16:00.